成都滲源科技助力西安晟光硅研半導(dǎo)體 SYZ-20L超純水系統(tǒng)成功投運(yùn)
近日,成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導(dǎo)體科技有限公司再次定制安裝的SYZ-20L實驗室超純水系統(tǒng)正式投入使用,為這家專業(yè)半導(dǎo)體材料研發(fā)企業(yè)提供了符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的超純水解決方案。

西安晟光硅研在半導(dǎo)體晶圓制備、材料表征等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)對超純水質(zhì)量要求極為嚴(yán)苛。針對半導(dǎo)體行業(yè)對TOC、顆粒物和金屬離子的特殊要求,滲源科技設(shè)計的SYZ-20L系統(tǒng)采用"雙級反滲透+多通道"純化工藝,產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定達(dá)到18.25MΩ·cm(25℃)(在線監(jiān)測),TOC含量≤20ppb,微顆粒物≤1個/mL,完全滿足半導(dǎo)體材料清洗、蝕刻等精密工藝的用水需求。
該系統(tǒng)具備終端微濾單元,保證使用水質(zhì)的可靠性。滲源工程師團(tuán)隊針對西北地區(qū)水質(zhì)特點(diǎn),強(qiáng)化了預(yù)處理單元,并優(yōu)化了系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)。智能控制系統(tǒng)可實時監(jiān)測電導(dǎo)率、電阻率等關(guān)鍵水質(zhì)指標(biāo),確保每一滴超純水都符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

此次合作彰顯了滲源科技在半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)實力。公司將持續(xù)為半導(dǎo)體行業(yè)提供更專業(yè)、更可靠的超純水解決方案,助力中國半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。