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    電子行業(yè)超純水系統(tǒng)詳解

    文章出處:admin 人氣:發(fā)表時(shí)間:2019-11-01

    隨著華為世界市場的不斷擴(kuò)展,中國的電子行業(yè)也在如火如荼的高速發(fā)展,而在電子行業(yè)的生產(chǎn)以及研發(fā)過程中,都不可缺少超純水的使用,滲源電子級超純水設(shè)備則是為國內(nèi)電子行業(yè)的生產(chǎn)與研發(fā)而誕生的超純水系統(tǒng)。水質(zhì)能完全符合國內(nèi)電子級超純水行業(yè)規(guī)定,特別是對金屬離子的控制,能做到十分的精密,這一點(diǎn)就在于使用進(jìn)口高端的EDI電滲析技術(shù),能滿足國內(nèi)的任何一家電子企業(yè)的生產(chǎn)與使用,而且價(jià)格遠(yuǎn)低于進(jìn)口超純水系統(tǒng),真正的性價(jià)比之王。

     

    電子級超純水系統(tǒng)

     

    在電子工業(yè)主要是線路板、電子元器件生產(chǎn)都需要使用去離子水/超純水,這類產(chǎn)品精密度非常高,在生產(chǎn)過程中的重要度也在不斷的提升,已經(jīng)慢慢成為能影響產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量的重要因素。一款好的超純水系統(tǒng),能將生產(chǎn)線路板、電子元器件生產(chǎn)過程中直接影響到實(shí)驗(yàn)結(jié)果和生產(chǎn)結(jié)果的金屬離子降到最低,使最終生產(chǎn)品質(zhì)得到不錯(cuò)的提升。

     

    在晶體管、集成電路生產(chǎn)中,超純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路生產(chǎn)過程中的80%的工序需要使用高純水清洗硅片,水質(zhì)的好壞與集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會(huì)使PN結(jié)耐壓降低,Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化,Ⅴ族元素(P、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20-50%)會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變?yōu)镹型硅而導(dǎo)致器件性能變壞,水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會(huì)引起電路短路或特性變差。

     

    集成電路(DRAM)對純水水質(zhì)的要求:

     

    集成度

    16K

    64K

    256K

    1M

    4M

    16M

    相鄰線距(um)

    4

    2.2

    1.8

    1.2

    0.8

    0.5

    微粒直徑(um)

    0.4

    0.2

    0.2

    0.1

    0.08

    0.05

    微粒個(gè)數(shù)(PCS/ml)

    <100

    <100

    <20

    <20

    <10

    <10

    細(xì)菌(CFU/100ML)

    <100

    <50

    <10

    <5

    <1

    <0.5

    電阻率(us/cm)

    >16

    >17

    >17.5

    >18

    >18

    >18.2

    TOC(ppb)

    <1000

    <500

    <100

    <50

    <30

    <10

    DO(ppb)

    <500

    <200

    <100

    <80

    <50

    <10

    Na*(ppb)

    <1

    <1

    <0.8

    <0.5

    <0.1

    <0.1

     

    電子超純水設(shè)備是保證電子產(chǎn)品質(zhì)量安全促進(jìn)電子業(yè)健康運(yùn)行的依據(jù),電子超純水設(shè)備適用集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片、半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工,滲源的電子工業(yè)超純水設(shè)備廣泛的用于在電子業(yè)中,而且在電子業(yè)中的地位更是蒸蒸日上成為業(yè)內(nèi)發(fā)展的重要推手。

     

    電子行業(yè)超純水特點(diǎn):

     

    目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高。

     

    電子行業(yè)超純水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素。這種級別的超純水是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。目前,超純水設(shè)備的方法通常采用反滲透,去離子或電滲析(EDI)等工藝進(jìn)行制備。

     

    中國電子行業(yè)超純水國家標(biāo):

     


    指標(biāo)

    EW-I(一級水)

    EW-II(二級水)

    電阻率MΩ.cm(25℃)

    18以上(95%時(shí)間)不低于17

    15(95%時(shí)間)不低于13

    硅≤ μ g/l

    2

    10

    > 1 μ M 微粒數(shù)≤個(gè)/ml

    0.1

    5

    細(xì)菌個(gè)數(shù)≤個(gè)/ml

    0.01

    0.1

    銅≤ μ g/l

    0.2

    1

    鋅≤ μ g/l

    0.2

    1

    鎳≤ μ g/l

    0.1

    1

    鈉≤ μ g/l

    0.5

    2

    鉀≤ μ g/l

    0.5

    2

    氯≤ μ g/l

    1

    1

    硝酸根≤ μ g/l

    1

    1

    磷酸根≤ μ g/l

    1

    1

    硫酸根≤ μ g/l

    1

    1

    總有機(jī)碳≤ μ g/l

    20

    100

     

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